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HORIBA質量流量控制器

SEC-8000F高溫質量流量控制器

產品分類：HORIBA質量流量控制器
產品介紹

 

概要
SEC-8000F/D 系列, 可以在高溫環境下工作, 實現超潔凈狀況下百萬分之一級別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產品而感到驕傲。
特征
  • 具備數字式流量計的高精度性能-高控制精度：±1.0% 設定流量.
  • 超快速響應
  • 超潔凈處理
  • 滿足RoHS 環境標準
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